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新品发布:支持数据驱动开发的两款FE-SEM隆重上市

2022-01-06
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新品发布:支持数据驱动开发的两款FE-SEM隆重上市



全|球|首|发


强化自动获取大量数据功能

实现高效率观察


日立高新技术公司(以下简称日立高新技术)此次推出两款FE-SEM*1“SU8600”和“SU8700”(以下简称此系列产品),这两种型号配置自动获取大量数据的功能。


FE-SEM是用于观察、测量和分析样品细微结构的场发射扫描电子显微镜,因此被广泛用于半导体、生命科学和材料研发等领域。未来,数据驱动开发的进步需要庞大的数据支撑,为此,日立高新技术特推出此系列产品,支持短时间内获取大量数据,减轻用户的负担。


*1. FE-SEM:Field Emission Scanning Electron Microscope(场发射扫描电子显微镜)

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· 产品开发背景 ·


FE-SEM获得的图像分辨率高,信息丰富,样品处理相对简单,并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构,因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。


近年来,以Materials Integration*2为代表,其应用领域及用途在不断扩展,短时间内获取大量数据,减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求,此次特推出SU8600和SU8700,这两种型号是在日立不断改进与沉淀的具有高分辨性能的FE-SEM基础上,进一步优化了自动化功能,以快速获取大量数据。


*2. Materials Integration:是一项综合性材料研发技术,以缩短材料研发周期为目的,整合运用了理论/实验/数据分析/模拟/数据库。


· 产品特点 ·

在细微结构分析中,SU8600可以实现低加速电压观察,对高分子等易受电子束照射影响的材料进行高分辨观察。SU8700可配置各种分析附件,适用于从低加速观察到高束流的EBSD*3分析,支持陶瓷、金属等不同材料的解析。


此系列产品主要具有以下三大特点:

1.支持自动获取数据

在FE-SEM的观察和分析中,需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度,这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能,可避免人为操作导致的差异。

此外,随着仪器性能的提升,需要获取的数据种类与数量也在增加,手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”,用户可根据自身需求设定条件,自动获取数据,这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。

2.增加获取信息的种类与数量

通过SEM能够收集到多种信号,且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。

此外,为一次性获取大量信息,更大像素扩展到了40,960 x 30,720*5,是当前型号*4的64倍。利用这一功能,可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构

3.增强信号检测能力

SU8600开发了多个新型选配检测器,加强了对凹凸信息、发光信息的检测能力。此外,还提高了背散射电子信号检测的响应速度。

SU8700的样品仓设计巧妙,可使用短WD*6进行EDS*7分析,通过提高EDS分析的空间分辨率,能够实现更微小部位的分析。

*3. EBSD:Electron Back Scatter Diffraction(电子背散射衍射)。一种用于晶体样品取向分析的方法。

*4. 与Regulus系列FE-SEM对比

*5. 选配,可扩展

*6. WD:Working Distance. (工作距离:SEM物镜与样品间的距离)

*7. EDS:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(能谱仪)


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