日立2020年2月初已经面向全球发布了毛细管系列FT160镀层测厚仪，以下就简单介绍这款产品的特点及规格：
一、新型FT160系列镀层测厚仪特点：
1、高强度X射线--仪器的核心所在是全新的毛细管聚焦光学系统，其生产的30um光束用于测量微小的半导体图案和超小型原件；
2、高灵敏度的SDD检测器--这一高性能确保实施可重复测量以提高生产力；
3、大型样品仓门--便于操作员装载和卸载线路板，晶片和组件，以便FT160容纳各种形状的不见；
4、高清摄像机和多模式照明--样品观测摄像机的分辨率--16倍数码变焦--结合改进的照明，使半导体表面清晰锐利，便于定位；
5、易于使用的控制器软件--只需在屏幕上选择电镀和测量点，然后运行分析。
6、测定含有从铝（13）到铀（92）；
7、这款仪器较FT150主要升级了照明系统、相机，更加清晰，同时增加小台面机型。
二、新型FT160系列镀层测厚仪规格：
我们提供针对不同部件的三种样品仓：
1、FT160--灵活标准配置测量组件和板930mm（宽）*900mm（深）*710mm（高）；
2、FT160S--小型部件占地面积小，性能与大型配置相同690mm（宽）*900mm（深）*710mm（高）；
3、FT160L--适用于600*600mm以下线路板的较大样品台1030mm（宽）*1260mm（深）*710mm（高）。
并且可以选择钨（W）或钼（MO）X射线管阳极以优化应用性能。
