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日立2020年2月面向全球发布了毛细管系列FT160镀层测厚仪

2022-01-06
581次

日立2020年2月初已经面向全球发布了毛细管系列FT160镀层测厚仪,以下就简单介绍这款产品的特点及规格:

一、新型FT160系列镀层测厚仪特点:

1、高强度X射线--仪器的核心所在是全新的毛细管聚焦光学系统,其生产的30um光束用于测量微小的半导体图案和超小型原件;

2、高灵敏度的SDD检测器--这一高性能确保实施可重复测量以提高生产力;

3、大型样品仓门--便于操作员装载和卸载线路板,晶片和组件,以便FT160容纳各种形状的不见;

4、高清摄像机和多模式照明--样品观测摄像机的分辨率--16倍数码变焦--结合改进的照明,使半导体表面清晰锐利,便于定位;

5、易于使用的控制器软件--只需在屏幕上选择电镀和测量点,然后运行分析。

6、测定含有从铝(13)到铀(92);

7、这款仪器较FT150主要升级了照明系统、相机,更加清晰,同时增加小台面机型。

二、新型FT160系列镀层测厚仪规格:

我们提供针对不同部件的三种样品仓:

1、FT160--灵活标准配置测量组件和板930mm(宽)*900mm(深)*710mm(高);

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2、FT160S--小型部件占地面积小,性能与大型配置相同690mm(宽)*900mm(深)*710mm(高);

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3、FT160L--适用于600*600mm以下线路板的较大样品台1030mm(宽)*1260mm(深)*710mm(高)。

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并且可以选择钨(W)或钼(MO)X射线管阳极以优化应用性能。


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