原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）都是进行纳米微观世界分析的有力手段，原子力显微镜能测量表面三维形貌以及多种物理特性，如机械性能、电性能和磁性能等。扫描电子显微镜擅长提供高分辨率形貌图像和成分分析等。传统技术往往单独使用这两种仪器完成观察分析，难以完成同位置样品观察。日立不断追求技术创新，以满足用户需求为己任，打破局限，通过AFM-SEM联用，为科研提供全面的解决方案。
AFM-SEM联用实验方案：铝合金表面电位势分布的分析
铝合金作为现代工业中不可或缺的重要材料，因其轻质化、高强度、良好的导电导热性以及那腐蚀性，在交通和航空航天领域得到广泛应用，AFM下发现抛光铝合金表面有局部电位势分布差异，通过AFM-SEM联用，能谱分析元素组成，揭开了表面电位势差异的原因并测量了其他元素组成。首先AFM测量出表面形貌和表面电位势分布图。接着利用AFM标记功能，在SEM下找到同一位置。最后对该位置进行能谱分析，定量测定元素组成及含量。
AFM-SEM联用实验方案：7纳米器件故障分析
半导体封装检测和失效分析作为半导体制造流程中的关键环节，直接决定了产品的质量和稳定性，在对先进的7纳米器件进行检测时，扫描电子显微镜在特定位置观察了异常的电位和形貌特征，暗示该区域可能存在漏电流问题，为进一笔验证并深入分析这一现象，通过AFM-SEM坐标共享方式原子力显微镜在同一位置进行了精密的电学特性测量。通过测量，AFM不仅确认了该区域的导电性存在显著差异，更通过的电流-电压（I/V）曲线测量，成功确定了漏电流发生的具体电压阀值。
日立AFM-SEM联用，可通过两种方式实现。一种是使用电动样品台进行坐标共享，另一种是通过对待观察样品进行标记来完成联用分析。每种方式都有广泛的兼容性和实用性。
