日立SU9600扫描电镜搭载全新VCD背散射探测器，开启精密表征新维度

一、核心升级：VCD 探测器——替代传统YAG，性能全面跃升

作为 SU9600 电镜的核心配置，VCD 探测器是日立针对高端微观成像需求打造的全新一代背散射探测组件，彻底升级传统 YAG 闪烁体探测器，核心优势显著。

• 超高信噪比，成像更纯净：采用日立自研高性能晶体替代传统 YAG 材料，信号转化效率大幅提升。信噪比显著优于 YAG 探测器，有效抑制图像噪声，即使低束流条件也能获得高清晰衬度图像。

• 镜筒内置可伸缩设计，探测更灵活：区别于传统极靴下方固定安装方式，VCD 采用镜筒内可伸缩结构，可根据样品特性与观测需求精准切换，同步获取成分衬度与立体形貌信息。

• 低损伤成像，适配敏感样品：高灵敏度信号采集能力，大幅降低长时间扫描对样品造成的热损伤与积碳风险，完美适配二维材料、生物样品等易损伤样品的观测，确保样品原始结构不受破坏。

• 超高倍率稳定成像，细节更清晰：配合 SU9600 内透镜冷场发射电子枪，VCD 可支撑500k 倍以上超高倍率纯净成像，精准捕捉样品内层微观结构，满足先进制程研发的观测需求。

二、技术协同：VCD+SU9600，重构高端微观表征标准

• 多信号融合，信息更全面：可与二次电子探测器（SE）协同工作，灵活调节 SE/BSE 信号比例，同时获取样品表面形貌与成分分布信息，一站式完成多维度表征。

• 复杂场景适配，应用更广泛：无论是半导体行业、PCB 微线路检测，还是新能源领域的锂电池材料、光伏电池微观分析，亦或是科研领域的纳米材料、金属合金表征，VCD 均能精准适配，输出稳定可靠的成像结果。

• 智能化操作，效率再提升：VCD 探测器位置切换与参数调节可通过 SU9600 智能控制系统一键完成，无需复杂手动调试，大幅缩短样品观测准备时间，提升实验室检测通量。

三、价值赋能：助力产业升级，解锁微观世界无限可能

从半导体先进制程研发到高端材料性能突破，从工业精密质控到前沿科学探索，微观表征技术的进步始终是产业创新的核心驱动力。日立 SU9600 搭载全新 VCD 背散射探测器，不仅是自身技术迭代的重要里程碑，更为全球用户创造核心价值。

• 研发提速：超高信噪比、低损伤成像特性，加速新材料、新工艺的研发验证周期，降低试错成本。

• 质控升级：稳定可靠的高分辨率成像能力，助力工业企业实现微观缺陷精准检测，筑牢产品质量防线。

• 探索无界：的微观表征性能，为前沿科学研究提供更强大的技术工具，助力科学家探索微观世界未知领域。

未来，日立高新技术将持续深耕精密检测技术，以 SU9600+VCD 为核心，不断优化产品性能、拓展应用场景，为半导体、先进材料、新能源等产业的高质量发展注入源源不断的技术动力，持续引领全球微观表征技术革新。